一、概況
羅茨真空泵具有二個(gè)三葉型轉(zhuǎn)子，通過(guò)一對(duì)同步反向旋轉(zhuǎn)高精度齒輪驅(qū)動(dòng)，右圖為轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)120°，完成一次吸、排氣的過(guò)程。三葉轉(zhuǎn)子采用漸開(kāi)線型線，轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)互相不接觸并保持恒定間隙?？膳c多種前級(jí)泵配套，采用風(fēng)冷或水冷方式和多種密封形式，滿足不同工藝和工況要求。
比傳統(tǒng)二葉型羅茨泵在抽氣效率、***大允許壓差、溫升、振動(dòng)、噪聲等關(guān)鍵性能指標(biāo)上都具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。三葉轉(zhuǎn)子采用高精度齒輪傳動(dòng)和精密軸承支承，噪聲低、運(yùn)轉(zhuǎn)更加平穩(wěn)，在低入口壓力下仍具有較大抽氣速率。
二、主要特點(diǎn)
●轉(zhuǎn)速高、容積率高、溫升低、振動(dòng)小。
●結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性好，操作、維護(hù)方便。
●轉(zhuǎn)子被鎖緊，無(wú)軸向串動(dòng)現(xiàn)象、故障率更低。
●所有平面靜密封采用O型圈密封，可以反復(fù)拆裝。
●端蓋密封可采用機(jī)械密封、骨架、活塞環(huán)和迷宮密封等多種形式。
三、應(yīng)用范圍
三葉羅茨真空泵不能單獨(dú)使用，必須與前級(jí)真空泵配套使用，配置不同類別的前級(jí)泵后，羅茨真空泵各項(xiàng)性能指標(biāo)會(huì)有所不同。羅茨真空泵主要應(yīng)用于需要大抽速和粗、中真空(103-10-2Pa)的真空系統(tǒng)，例如真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗(yàn)、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干噪、真空蒸餾。
四、規(guī)格參數(shù)
|
型號(hào) |
抽氣速率（L/S） |
極限壓力(Pa) |
***大允許壓差（Pa） |
配用功率（KW） |
轉(zhuǎn)速（rpm） |
進(jìn)氣口（mm） |
排氣口（mm） |
總量（kg） |
推薦前級(jí)泵 |
|
ZJ-70 |
70 |
≤0.05 |
≥1.2*104 |
1.5 |
2900 |
80 |
50 |
58 |
2x-15 |
|
ZJ-150 |
150 |
≤0.05 |
≥1.2*104 |
3 |
2900 |
100 |
80 |
136 |
2x-30 |
|
ZJ-300 |
300 |
≤0.05 |
≥1*104 |
4 |
2900 |
150 |
100 |
231 |
2x-70 |
|
ZJ-600 |
600 |
≤0.05 |
≥8*103 |
5.5(7.5) |
2900 |
200 |
150 |
485 |
ZJ-150 2X-30 |
|
ZJ-1200 |
1200 |
≤0.05 |
≥6*103 |
11 |
2900 |
250 |
200 |
860 |
ZJ-300 2X-70 |
|
ZJ-2500 |
2500 |
≤0.05 |
≥5*103 |
18.5 |
2900 |
350 |
250 |
1550 |
ZJ-600 H-150 |
|
ZJ-5000 |
5000 |
≤0.05 |
≥4*103 |
37 |
1450 |
400 |
350 |
3200 |
ZJ-1200 H-150 |
|
ZJ-10000 |
10000 |
≤0.05 |
≥3*103 |
55 |
1450 |
500 |
400 |
5800 |
ZJ-1200 H-150 |
|
ZJ-20000 |
20000 |
≤0.05 |
≥3*103 |
110 |
1450 |
600 |
500 |
12000 |
ZJ-1200 H-150 |
注：上表各性能是在配用推薦前級(jí)泵的條件下獲得，若視情況選用不同的前級(jí)泵，其主要性能指標(biāo)會(huì)有所變化。抽氣速率系指在配用前級(jí)泵的條件下羅茨真空的入口壓力在67pa~2.67pa范圍內(nèi)所測(cè)得的***大抽氣速率。（見(jiàn)性能曲線）極限壓力系指在配用推薦前級(jí)泵的條件下，不帶任何附加容器、泵口密閉不進(jìn)氣，經(jīng)過(guò)充分抽氣后用壓縮形式真空計(jì)在泵進(jìn)口處測(cè)得的穩(wěn)定的空氣分壓力的***低值。
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